了解真空泵的工作原理是了解如何操作真空系統(tǒng)的重要部分。不同的制造商將為他們的機器提供獨特的設計，但是真空設備和系統(tǒng)功能的基礎遵循相同的原理。但是即使如此，在當今可用的各種真空泵中看到的個性也不能被忽略。

基于工作壓力的泵類別

每個真空系統(tǒng)中的每個泵都根據其工作壓力范圍進行分類。根據此分類，您會發(fā)現有用于粗真空的一級泵和用于高真空和超高真空的二級泵。在真空系統(tǒng)和設備的壓力范圍內，有不同類型的泵。每種都基于獨特的技術，并且在流量，壓力容量，服務要求和總成本方面都具有一些獨特的優(yōu)勢。

如上所述，所有真空泵，無論其設計如何，都基于相同的主要原理起作用。它們將從真空室中去除空氣分子和氣體。如果降低腔室中的壓力，去除分子將變得更加困難。因此，為工業(yè)應用設計的真空系統(tǒng)應能夠在很大或高壓范圍內運行。壓力范圍可以在1到10-6 Torr之間。用于科學應用的壓力將在10 – 9托或更低的壓力范圍內。為了解決這種差異，標準真空系統(tǒng)將具有幾種不同類型的泵，以便每個泵都可處理特定的壓力范圍，并且其中大多數都設置為可串聯(lián)運行。

根據以上信息，真空系統(tǒng)的分組基于以下壓力范圍：

• 真空度低或低：大氣壓力> 1托
• 中真空：1托至10-3托的壓力范圍
• 高真空：壓力范圍為10-3 Torr至10-7 Torr
• 超高真空：壓力范圍為10-7托至10-11托
• 極高的真空度：10-11 Torr的壓力范圍

根據這些泵的壓力范圍，真空系統(tǒng)可以分為以下幾類：

• 主泵（抽水泵） –這些是低壓范圍的泵。
• 增壓泵 –增加了主泵的抽速，但仍處于低壓范圍內。
• 二級泵 –它們具有很高的真空壓力范圍。

真空泵術語和定義

購買真空系統(tǒng)時，請理解與泵有關的兩個術語-氣體傳輸和氣體捕獲。使用氣體輸送真空泵，該系統(tǒng)通過正排量或動量交換（全部與動力學作用有關）轉移氣體分子來工作。排出的氣體分子數量與進入泵的氣體分子數量相同，但排出的氣體大多略高于大氣壓。與存在排氣壓力的出口相比，入口處的壓力zui低，兩者之間的比率即壓縮比。

動量傳遞泵全是動力學作用，它是通過使用引入的蒸氣或高速葉片將氣體引導到泵的出口而起作用的，這樣可以增加空氣分子向同一點移動的機會。這樣，這些類型的泵在低壓下可產生顯著的壓縮比，但它們沒有密封的氣體體積。

除了泵內部工作的兩種變化之外，您還將遇到兩種不同類型的泵：

• 正排量輸送泵：它們會捕獲氣體并將其機械地分階段移動通過泵。壓縮后的空氣或氣體的隔離體積，以便在不使用下一個泵的情況下（如果是串聯(lián)系統(tǒng)）將其排放到大氣之前，可以在較大壓力下以較小的量存在。與使用單個輸送泵相比，串聯(lián)設置將產生更高的真空度并具有更好的流速。例如，當您購買渦輪分子泵真空吸塵器（具有動力學作用）時，您會獲得更高的價值，該泵具有一系列渦旋（正位移傳遞）。
• 捕獲泵：它們捕獲設備內表面上的空氣分子，并且設計成與傳輸泵相比以較低的流速運行。但是即使那樣，這些泵仍可能產生接近10-12 Torr的超高吸力。它們基于低溫冷凝，化學反應或離子反應起作用。不依賴于運動部件的收集泵。

泵類型–概述

您會聽到一些泵說是濕泵，而另一些則是干泵。這是基于他們的設計，在此過程中，是否將氣體暴露于水，油或其他密封劑中。對于濕泵，這些泵使用的液體可以是水，油或其他密封劑。濕泵的自然副產品是來自廢氣的少量蒸氣霧。另一方面，干式泵不使用任何流體運行，而是在真空泵的靜止和旋轉部件與密封件之間的緊密間隙內運行。密封件可以是干聚合物或隔膜，用于將清掃機構與泵送氣體分開。與干式泵相比，干式泵的系統(tǒng)污染風險低。

通常，在初始購買成本和持續(xù)維護方面，濕泵是更實惠的選擇。濕泵對某些類型的過程副產品可能更寬容，因為它們的流體在被污染時可以被沖洗掉。干泵具有較高的啟動和維護成本，但具有無需處理流體的優(yōu)點。